半導体および光学機械OEM

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Mersen Boostec では半導体および光学機械で必要とされている炭化ケイ素超安定構造を提供しています。

BOOSTEC® SiC ソリューションは超精密なパフォーマンスが要求される応用分野で活用されています。

  • 半導体製造プロセス
  • 極紫外線(EUV)リソグラフィ装置
  • 光学面の高度な測定装置
  • 超高真空
  • 科学装置

 

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