半導体プロセス機器

半導体プロセス機器 Mersen
半導体プロセス機器 Mersen
半導体プロセス機器 Mersen
半導体プロセス機器 Mersen

半導体、化合物半導体、および太陽光発電産業における高純度グラファイト工具

エピタキシおよびMOCVD:

Mersen社では、エピタキシやMOCVDといった薄膜蒸着相向けに、サブストレートまたは「ウェーハ」を支持するための超高純度グラファイト機器をご提供しています。

プロセスの中心で、本機器、エピタキシサセプタ、またはMOCVD用衛星プラットフォームは最初に蒸着環境へと置かれます。

  • 高温
  • 高真空
  • 侵食性ガス状先駆体の使用、ゼロ汚染、剥離なし
  • クリーニング作業中の強酸への耐性

これらのサポートは、理想的な蒸着条件を確保するよう設計されています。

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