シリコンウェハ製造

精製グラファイト加熱素子 Mersen
精製グラファイト加熱素子 DSS Mersen
精製グラファイト加熱素子 CZ Mersen

CZプーラおよびDSS炉向け高純度グラファイト

Mersen社は、ウェーハの純度および結晶化時の高温域の制御を保証する、持続可能で効率の良いソリューションをご提供します。

Mersen社では、本業界における制約に特化した機器および部品もご提供しています。

  • 精製グラファイトるつぼ
  • 精製グラファイトヒーター
  • グラファイトまたは炭素‐炭素複合材円筒形熱保護
  • 結晶成長の温度勾配を制御するための可撓フェルトおよび硬質炭素断熱材
  • 炭素‐炭素複合材ねじ部品
  • グラファイト熱交換器

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