ポリシリコン

シリコン素子は地球上ではごくありふれた物質です。天然酸化ケイ素は、専用の業界において「ポリシリコン」と呼ばれる多結晶の精製された形へと変換されます。

Polysilicon industry Mersen

防食機器

まず、精製プロセスは塩酸といった腐食性流体の使用を必要とします。Mersen社は、以下のような完全に対応したプロセス機器をご提供いたします。

  • 当社の塩酸除去器

高温ソリューション

Siemens CVDプロセス、および他の生産プロセスでは、最高1,500℃の高温状態に耐えるソリューションが必要となります。Mersen社は、お客様の要件に合わせ専用のソリューションを開発してきました。

原材料の純度

  • 当社のグラファイト消耗品

侵食性雰囲気に対する耐性

  • 当社の精製しコーティングを施した特殊品

エネルギ効率

  • 当社の高温断熱